路维光电近期接受投资者调研时称，公司已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产，同时储备有150nm制程节点掩膜版制造技术和OPC、PSM等应用于中高端半导体掩膜版的制造技术，满足国内功率器件、光电器件、传感器、先进半导体芯片封装等应用场景，为我国半导体行业的发展提供关键上游材料国产化配套支持。此外，公司积极开展130nm及以下制程节点掩膜版产品的工艺技术开发，籍此不断提升公司在半导体掩膜版行业的技术能力和竞争力，为保障国内半导体供应链安全和良性发展做出积极贡献。
公司的主要生产设备光刻机主要向瑞典的Mycronic、德国的海德堡仪器两家公司采购，目前公司尚未受到境外采购的限制。
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